Observation of Negative Ions in VHF SiH_4/H_2 Plasma
Observation of Negative Ions in VHF SiH_4/H_2 Plasma
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VHF SiH_4/H_2 等离子体中负离子的观察
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Uchino
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Kawai;T.Yamane;Y. Takeuchi;Y.Yamauchi;H.Takatsuka;H.Muta;K.Uchino
