亜鉛還元法を用いたシリコンナノワイヤー膜合成における反応器内ガス流の影響
亜鉛還元法を用いたシリコンナノワイヤー膜合成における反応器内ガス流の影響
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反应器内气流对锌还原法合成硅纳米线薄膜的影响
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
稲澤晋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
井上介;稲澤晋
