T.Goto: "Low temperature oxidation of CVD SiC by electron cyclotron resonance plasma"Materials Chemistry and Physics. (印刷中). (2002)
T.Goto: "Low temperature oxidation of CVD SiC by electron cyclotron resonance plasma"Materials Chemistry and Physics. (印刷中). (2002)
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T.Goto:“电子回旋共振等离子体的 CVD SiC 低温氧化”材料化学与物理(出版中)。
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