基于 LCP 柔性衬底的 MEMS V 型梁结构的设计制备与表征
基于 LCP 柔性衬底的 MEMS V 型梁结构的设计制备与表征
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DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
韩磊
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吝晓楠;吴虹剑;田蕾;于洋;韩磊
