Si 2p Core Level Shifts of the Epitaxial SiON Layer on a SiC(0001), Studied by Photoemissin Spectroscopy

Si 2p Core Level Shifts of the Epitaxial SiON Layer on a SiC(0001), Studied by Photoemissin Spectroscopy
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通过光电发射光谱研究 SiC(0001) 上外延 SiON 层的 Si 2p 核心能级偏移

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
Materials Science Forum
影响因子:
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通讯作者:
H. Tochihara
H. Tochihara
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
T. Shirasawa;S. Tanaka;T. Muro;Y. Tamenori;Y. Harada;T. Tokushima;T. Kinoshita;S. Shin;T. Takahashi;H. Tochihara

文献摘要

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