基板面外回転マイクロアクチュエータの基礎研究
基板面外回転マイクロアクチュエータの基礎研究
复制标题
平面外旋转微执行器的基础研究
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
下河辺 明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
赤松宏明;秦 誠一;福重 孝志;下河辺 明
