E t c h i n g r e a c t i o n o f me t h y l c h l o r i d e mo l e c u l e o n t h e Ga As ( 0 0 1 )-2 x 4 s u r f a c e
E t c h i n g r e a c t i o n o f me t h y l c h l o r i d e mo l e c u l e o n t h e Ga As ( 0 0 1 )-2 x 4 s u r f a c e
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甲基氯分子在 Ga As(0 0 1)-2 x 4 表面上的蚀刻反应
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. S h imi z u
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Oz e k i;Y. Iwa s a;Y. S h imi z u
