峠 睦, 渡邉純二, 清水正寛: "微粒子流体研磨によるconcaveタイプ薄型水晶基板の加工技術"2002年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 135 (2002)
峠 睦, 渡邉純二, 清水正寛: "微粒子流体研磨によるconcaveタイプ薄型水晶基板の加工技術"2002年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 135 (2002)
复制标题
Mutsumi Toge、Junji Watanabe、Masahiro Shimizu:“使用微粒流体抛光的凹型薄晶体基板的加工技术”2002年日本精密工程学会秋季会议学术会议论文集135(2002)。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: