Two-dimensional encoder with picometre resolution using lattice spacing on regular crystalline surface as standard

Two-dimensional encoder with picometre resolution using lattice spacing on regular crystalline surface as standard
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使用规则晶体表面上的晶格间距作为标准的具有皮米分辨率的二维编码器

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
Measurement Science & Technology 18
影响因子:
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通讯作者:
M Ishige and C Patamaporn
M Ishige and C Patamaporn
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
M Aketagawa;H Honda;M Ishige and C Patamaporn

文献摘要

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