"高品質AlInN/GaN多層膜反射鏡のための その場観察反り測定"
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“高质量 AlInN/GaN 多层反射器的原位翘曲测量”
DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
赤﨑 勇
中科院分区:
文献类型:
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作者:
平岩 恵;村永 亘 ;岩山 章 竹内 哲也;上山 智;岩谷 素顕;赤﨑 勇