Submicron structures created on Ni thin film by submicron focusing of femtosecond EUV light pulses
Submicron structures created on Ni thin film by submicron focusing of femtosecond EUV light pulses
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通过飞秒 EUV 光脉冲的亚微米聚焦在镍薄膜上创建亚微米结构
DOI：
10.35848/1882-0786/acaebe
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发表时间：
2023
影响因子：
2.3
通讯作者：
Yamanouchi Kaoru
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Motoyama Hiroto;Iwasaki Atsushi;Mimura Hidekazu;Yamanouchi Kaoru
