RF ラジカル源を用いたGaN横方向成長におけるGa源としての金属GaおよびTMGの比較
RF ラジカル源を用いたGaN横方向成長におけるGa源としての金属GaおよびTMGの比較
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使用 RF 自由基源横向生长 GaN 时金属 Ga 和 TMG 作为 Ga 源的比较
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岩月剛徳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Nakano;S. Oshima;T. Yanai and H. Fukunaga;岩月剛徳
