プロトンマイクロビームによる微細素子の開発

プロトンマイクロビームによる微細素子の開発
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使用质子微束开发显微装置

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
高野勝昌
高野勝昌
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
酒井卓郎;安田良;飯倉寛;野島健大;松林政仁;山本春也;江夏昌志;佐藤隆博;大久保猛;石井保行;高野勝昌

文献摘要

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