M.Shiratani and Y.Watanabe: "In Situ Observation of Growing Process of Particles in Silane Plasmas and Their Effects on Amorphous Silicon Deposition" Materials Research Society Sympo. Proc.Vol.236. 301-306 (1992)
M.Shiratani and Y.Watanabe: "In Situ Observation of Growing Process of Particles in Silane Plasmas and Their Effects on Amorphous Silicon Deposition" Materials Research Society Sympo. Proc.Vol.236. 301-306 (1992)
复制标题
M.Shiratani 和 Y.Watanabe：“硅烷等离子体中粒子生长过程的原位观察及其对非晶硅沉积的影响”材料研究学会研讨会。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
