Generalized scatterometry of laterally patterned periodic nanostructures based on spectroscopic ellipsometry

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基于光谱椭圆光度术的横向图案周期性纳米结构的广义散射测量

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Reports of the Graduate School of Electronic Science and Technology(Shizuoka University)(705)(4) 26
影响因子：
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通讯作者：
T.Yamaguchi
T.Yamaguchi
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
R.Antos;J.Mistrik;M.Aoyama;S.Visnovsky;T.Yamaguchi

文献摘要

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