プラズマを用いた機能性薄膜及び表面の形成
プラズマを用いた機能性薄膜及び表面の形成
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使用等离子体形成功能薄膜和表面
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
白藤 立
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Shirafuji;K. Obana;and K. Tanaka;白藤 立
