圧電MEMSのためのスパッタ堆積による大口径Si基板上へのYSZバッファ層のエピタキシャル成長
圧電MEMSのためのスパッタ堆積による大口径Si基板上へのYSZバッファ層のエピタキシャル成長
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压电MEMS用溅射沉积在大直径Si衬底上外延生长YSZ缓冲层
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中秀治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
西澤信典;吉田慎哉;和佐清孝;田中秀治
