ドライエッチング中における真性応力に起因する微細パターン構造のうねり座屈予測
ドライエッチング中における真性応力に起因する微細パターン構造のうねり座屈予測
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干法蚀刻过程中由于内应力引起的精细图案结构波纹屈曲的预测
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中 展，日高 貴弘，井 上 優，泉 聡志，酒井 信介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Tanaka;M. Inoue;S. Izumi;S. Sakai;井上 優，田中 展，泉 聡志，酒井 信介;田中 展，日高 貴弘，井 上 優，泉 聡志，酒井 信介
