A New Kinetic Equation for Thermal Oxidation of Silicon Replacing the Deal-Grove Equation
A New Kinetic Equation for Thermal Oxidation of Silicon Replacing the Deal-Grove Equation
复制标题
取代Deal-Grove方程的新硅热氧化动力学方程
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
I.Ohdomari
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Watanabe;I.Ohdomari
