広帯域 MEMS 人工基底膜の振動特性
広帯域 MEMS 人工基底膜の振動特性
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宽带MEMS人工基底膜的振动特性
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
新宅博文,川野聡恭
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Watanabe;Y. Sakai;K. Nagata;O. Terashima and Y. Ito;武市康太,棚橋亮介,玉野真司,森西洋平;新宅博文,川野聡恭
