マイクロ非球面の精密ナノ計測

マイクロ非球面の精密ナノ計測
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微型非球面的精确纳米测量

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
砥粒加工学会誌 52
影响因子:
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通讯作者:
高偉
高偉
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
荒井義和;澁谷篤史;高偉

文献摘要

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