マイクロ非球面の精密ナノ計測
マイクロ非球面の精密ナノ計測
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微型非球面的精确纳米测量
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
高偉
中科院分区:
文献类型:
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作者:
荒井義和;澁谷篤史;高偉