H. Toyoda: "Simple Direct Monitoring of SiH_3 Radical and Particulates in a Silan Plasma" Japanese Journal of Applied Physics. 34. L448-451 (1995)
H. Toyoda: "Simple Direct Monitoring of SiH_3 Radical and Particulates in a Silan Plasma" Japanese Journal of Applied Physics. 34. L448-451 (1995)
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H. Toyoda：“简单直接监测 SiH_3 自由基和 Silan 等离子体中的颗粒”，日本应用物理学杂志。
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