High-sensitive optical measurement of fine particulate defects on Si wafer surface with liquid probe
High-sensitive optical measurement of fine particulate defects on Si wafer surface with liquid probe
复制标题
液体探针高灵敏光学测量硅片表面细颗粒缺陷
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kiyoshi Takamasu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kazuki Tachibana;Masaki Michihata;Satoru Takahashi;Kiyoshi Takamasu
