基于复合靶溅射制备Mg2Si薄膜及热电性能研究
基于复合靶溅射制备Mg2Si薄膜及热电性能研究
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DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
温翠莲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
陈志坚;李建新;周白杨;温翠莲
