真空加熱下における AFM による Si 単結晶のナノ加工
真空加熱下における AFM による Si 単結晶のナノ加工
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真空加热下 AFM 硅单晶纳米加工
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岩田博之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
若山大輔;高木 誠;松室昭仁;岩田博之
