極低測定力エアベアリング変位計を用いた三次元微細形状測定に関する研究-非干渉振動スキャニングマイクロスタイラス-
極低測定力エアベアリング変位計を用いた三次元微細形状測定に関する研究-非干渉振動スキャニングマイクロスタイラス-
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超低测力气浮位移计三维微观形状测量研究-无干扰振动扫描微触针-
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
荒井義和
中科院分区：
文献类型：
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作者：
荒井義和;澁谷篤史;高偉;荒井義和
