水酸化フラーレンを用いたCu-CMPにおける化学反応過程の解明(第1報)-in-situラマン分光分析装置の開発-
水酸化フラーレンを用いたCu-CMPにおける化学反応過程の解明(第1報)-in-situラマン分光分析装置の開発-
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使用氢氧化富勒烯阐明 Cu-CMP 中的化学反应过程（第 1 部分） - 开发原位拉曼光谱仪 -
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鹿野和昌
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Mino;R. Kometani;S. Warisawa;S. Ishihara;鹿野和昌
粘土矿物的X射线鉴定及晶体结构
DOI：
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发表时间：
1951
期刊：
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影响因子：
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作者：
G. Brindley
通讯作者：
G. Brindley