イオンビーム誘起堆積法により作成したPt配線の局所電位測定
イオンビーム誘起堆積法により作成したPt配線の局所電位測定
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离子束诱导沉积法产生的 Pt 布线的局部电位测量
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
茂木 裕幸，番場 隆文，武内 修，重川 秀実
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Z.H. Wang;H. Mogi;T. Banba;S. Yoshida;Y. Miyata;O. Takeuchi and H. Shigekawa;茂木 裕幸，番場 隆文，武内 修，重川 秀実;茂木 裕幸，番場 隆文，武内 修，重川 秀実
