H.Uetake: "Inーsitu Substrate Surface Cleaning for LowーTemperature Silicon Epitaxy By HydogenーAddeol LowーEnergy Argon Ion Bombardment" Proceedings of Internatimal Symposium on Automated IC Manufacturing. (1992)
H.Uetake: "Inーsitu Substrate Surface Cleaning for LowーTemperature Silicon Epitaxy By HydogenーAddeol LowーEnergy Argon Ion Bombardment" Proceedings of Internatimal Symposium on Automated IC Manufacturing. (1992)
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H.Uetake：“Hidogen-Addeol 低能氩离子轰击进行低温硅外延的原位衬底表面清洁”自动化 IC 制造国际研讨会论文集（1992 年）。
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