ホロ－形状ターゲットを持つ高電力パルススパッタの電気特性
ホロ－形状ターゲットを持つ高電力パルススパッタの電気特性
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空心靶高功率脉冲溅射电学特性
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木村高志,三島俊彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroki Ishibashi;Akihiro Nishigaki;Hirokatsu Umegami;Wilmar Martinez and Masayoshi Yamamoto;吉田 尭，石橋 寛基，山本 真義;木村高志,三島俊彦
