Single-beam plasma source deposition of carbon thin films
Single-beam plasma source deposition of carbon thin films
复制标题
碳薄膜的单束等离子体源沉积
DOI：
10.1063/5.0102605
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发表时间：
2022
影响因子：
1.6
通讯作者：
Fan, Qi Hua
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kim, Young;Baule, Nina;Shrestha, Maheshwar;Zheng, Bocong;Schuelke, Thomas;Fan, Qi Hua
