UV-light assist chemical mechanical polishing of GaN with mesh polisher made of chemical durable plastics
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使用化学耐用塑料制成的网状抛光器进行紫外光辅助化学机械抛光 GaN
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Mizuki Akahori,Takuma Suzuki,Eiichi Yamamoto,Tsubasa Bando,Yasutoshi Yajima and Daisuke Ninomiya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shinsuke Matsui;Mizuki Akahori,Takuma Suzuki,Eiichi Yamamoto,Tsubasa Bando,Yasutoshi Yajima and Daisuke Ninomiya
