Synthesis of cBN Films by Ion Mixing and Vapor Deposition Technique
Synthesis of cBN Films by Ion Mixing and Vapor Deposition Technique
复制标题
离子混合和气相沉积技术合成立方氮化硼薄膜
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A.Kurihara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Uchida;M.Yamashita;S.Hanaki;A.Kurihara
