C_<60>イオン照射によって形成された非晶質SiN薄膜中のイオントラックの膜厚依存性
C_<60>イオン照射によって形成された非晶質SiN薄膜中のイオントラックの膜厚依存性
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C_<60>离子照射形成的非晶SiN薄膜中离子轨迹的膜厚依赖性
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中嶋薫,森田陽亮,北山巧,鈴木基史,木村健二,鳴海一雅,斎藤勇一,辻本将彦,磯田正二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Yurtsever;Y. Sugimoto;H. Tanaka;M. Abe;S. Morita;M. Ondráček;P. Pou;R. Pérez;and P. Jelínek;中嶋薫,森田陽亮,北山巧,鈴木基史,木村健二,鳴海一雅,斎藤勇一,辻本将彦,磯田正二
