Strain Distribution Analysis of Self-Ordered SiGe Nanodot Structures by Nano Beam Diffraction
Strain Distribution Analysis of Self-Ordered SiGe Nanodot Structures by Nano Beam Diffraction
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利用纳米束衍射分析自序 SiGe 纳米点结构的应变分布
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and B. Tillack
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. A. Schubert;Y. Yamamoto;Y. Itoh;P. Zaumseil;G. Capellini;K. Washio;and B. Tillack
