テラヘルツ時間領域分光法による容量結合型放電プラズマの診断
テラヘルツ時間領域分光法による容量結合型放電プラズマの診断
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使用太赫兹时域光谱诊断电容耦合放电等离子体
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
浜口智志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
安藤あゆみ;北原英明;北野勝久;高野恵介;谷正彦;萩行正憲;浜口智志
