Trial Production of Integrated Device for Micro-pump and Sensor
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复制标题
微型泵与传感器集成装置的试制
DOI：
10.1541/ieejsmas.132.86
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发表时间：
2012
影响因子：
--
通讯作者：
坂本憲児
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Fukumoto;S. Tsunaki;T. Chigasaki;Y . Hatsukade;and S. Tanaka;坂本憲児
