Direct Measurement of Spindle Error Motion with 10-Picometer Resolution Using Atomic Two-Dimensional Encoder
Direct Measurement of Spindle Error Motion with 10-Picometer Resolution Using Atomic Two-Dimensional Encoder
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使用原子二维编码器以 10 皮米分辨率直接测量主轴误差运动
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Patamaporn Chaikool and Eiki Okuyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masato Aketagawa;Patamaporn Chaikool and Eiki Okuyama
