M.Azuma,T.Yokoi,H.Ishida,J.Kocka and I.Shimizu: "Fabrication of highly stable a-Si:H from halogenous silane" Proc.Int.Conf.on Reactive Plasma. 89-94 (1994)
M.Azuma,T.Yokoi,H.Ishida,J.Kocka and I.Shimizu: "Fabrication of highly stable a-Si:H from halogenous silane" Proc.Int.Conf.on Reactive Plasma. 89-94 (1994)
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M.Azuma、T.Yokoi、H.Ishida、J.Kocka 和 I.Shimizu：“从含卤硅烷制备高度稳定的 a-Si:H”Proc.Int.Conf.on 反应等离子体。
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