超高温MOVPEを用いたAlGaN成長
超高温MOVPEを用いたAlGaN成長
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使用超高温 MOVPE 生长 AlGaN
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
永松 謙太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
富田 敦之;宮川 拓己;平山 秀樹;髙島 祐介;直井 美貴;永松 謙太郎
