A MAGNETIC ACTUATOR USING PLD-MADE FEPT THICK FILM AS A PERMANENT MAGNET AND MEMBRANE MATERIAL FOR BIDIRECTIONAL MICROPUMPS
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双向微型泵用 PLD 制造的 FPT 厚膜作为永磁体和膜材料的磁致动器
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Chiaki Sato
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Chao Qi;Keita Nagai;Ming Ji;Yu Miyahara;Naohiro Sugita;Tadahiko Shinshi;Masaki Nakano;Chiaki Sato
