O.A.Fouad, M.Yamazato, M.Era, M.Nagano, T.Hirai, I.Usui: "Titanium disilicide formation by rf plasma enhanced chemical vapor deposition and film properties"Applied Surface Science. 206. 159-166 (2002)
O.A.Fouad, M.Yamazato, M.Era, M.Nagano, T.Hirai, I.Usui: "Titanium disilicide formation by rf plasma enhanced chemical vapor deposition and film properties"Applied Surface Science. 206. 159-166 (2002)
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O.A.Fouad、M.Yamazato、M.Era、M.Nagano、T.Hirai、I.Usui：“通过射频等离子体增强化学气相沉积形成二硅化钛和薄膜特性”应用表面科学。
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