Design of a MEMS device for scanning profile measurement with three cantilever displacement sensors
Design of a MEMS device for scanning profile measurement with three cantilever displacement sensors
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三悬臂位移传感器扫描轮廓测量MEMS装置的设计
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroki Shimizu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Jin;T.Iizuka;神雅彦，飯塚卓也;神雅彦;神雅彦，吉川研一;神 雅彦，中立 亘，金井 秀生，小玉 満;神 雅彦，中立 亘，金井 秀生，小玉 満;林 正弘，神 雅彦;鬼鞍宏猷，神雅彦;山下亮祐;Hiroki Shimizu;Hiroki Shimizu
