超精密加工・形状計測と評価
超精密加工・形状計測と評価
复制标题
超精密加工/形状测量与评估
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
難波義治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Naoyuki Kubota;Dalai Tang;Hiroyuki Kojima;Naohide Aizawa;難波義治
