機能性微細パターン作製のための金属担持高分子に対する集束イオンビーム加工に関する研究
機能性微細パターン作製のための金属担持高分子に対する集束イオンビーム加工に関する研究
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用于制造功能性精细图案的金属支撑聚合物的聚焦离子束加工研究
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鷲尾方一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
坪倉英裕;高澤侑也;高橋朋宏;大久保聡;大山(五輪)智子;山本洋揮;大島明博;田川精一;鷲尾方一
