N.Moronuki: "Microlinear Motion Bearing Produced by Anisotropic Etching of Silicon" Ann.CIRP.46.1. 151-154 (1997)
N.Moronuki: "Microlinear Motion Bearing Produced by Anisotropic Etching of Silicon" Ann.CIRP.46.1. 151-154 (1997)
复制标题
N.Moronuki：“通过硅各向异性蚀刻生产的微线性运动轴承”Ann.CIRP.46.1。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
