Preparing of multi-elements two-dimensional thin films by plasma process using metal and metal oxide powder targets
Preparing of multi-elements two-dimensional thin films by plasma process using metal and metal oxide powder targets
复制标题
金属和金属氧化物粉末靶材等离子工艺制备多元素二维薄膜
DOI：
--
复制
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Y. Suda
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
H. Kawasaki;T. Ohshima;Y. Yagyu;T. Ihara;M. Shinohara;Y. Suda
