Advanced Large-Area Microwave Plasmas for Materials Processing
Advanced Large-Area Microwave Plasmas for Materials Processing
复制标题
用于材料加工的先进大面积微波等离子体
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Sugai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
I.Ganachev;H.Sugai
