M.Nagai, K.Kishida, S.Omi: "Low Pressure Thermal CVD Synthesis of Tungsten Nitride-Thin Film and its Growth Behavior" Nihon Kagaku Kaishi. 1994. 907-912 (1994)

M.Nagai, K.Kishida, S.Omi: "Low Pressure Thermal CVD Synthesis of Tungsten Nitride-Thin Film and its Growth Behavior" Nihon Kagaku Kaishi. 1994. 907-912 (1994)
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M.Nagai、K.Kishida、S.Omi:“氮化钨薄膜的低压热 CVD 合成及其生长行为”Nihon Kagaku Kaishi。

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