Verification of a Maxwellian electron-energy distribution in the ICP
Verification of a Maxwellian electron-energy distribution in the ICP
复制标题
ICP 中麦克斯韦电子能量分布的验证
DOI：
--
复制
发表时间：
1990
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
G. Hieftje
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Huang;Peng;D. Hanselman;C. Monnig;G. Hieftje
